




清洗:
从溶解的相似相溶规律出发,一般采用-乙醇清洗,或采用乙醇yi醚混液和异bing醇代替乙醇。采用乙醇-yi醚是因为这种混合液的挥发性强,采用异bing醇是因为异bing醇的脱脂能力强。为降低这些本身在MCP表面的残留,半导体腐蚀机,在每次使用后都要用超纯水进行漂洗。在不***MCP表面特征的情况下可结合搅拌、鼓泡、溢流、喷淋、超声、蒸汽脱脂等方法一起使用。
工业超声波清洗机的优势如下:
清洁工件死角:超声波清洗机对于手工及其它清洗方式不能完全有效地进行清洗的工件,具有显著的清洗效果,可达到清洗要求、清除复杂工件藏角死角处污渍;
多种工件批量清洗:不管工件形状多么复杂,半导体湿法腐蚀设备,将其放入清洗液内,只要是能接触到液体的地方,超声波清洗作用都能达到。超声波清洗机对形状和结构复杂的工件尤为适用;
多功能清洁:超声波清洗机可结合不同的溶剂达到不同的效果、满足不同配套生产工艺,如:除油,除锈、除尘、除蜡、除屑、除或磷化、钝化、陶化、电镀等。
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