




房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。
半导体净化车间设计的设计范围
半导体净化车间设计的设计范围包括:装修方案(围护、地面防水保温处理),暖通方案(空调设备、风管、水管等),特气供应方案(特气柜含***控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理),压缩空气方案,废气处理方案(仪器设备POU处理、房间排风废气处理),天津芯片厂费用,电气方案(空调设备动力配电等),弱电工程,集成控制智能平台,纯水方案(冷却水、去离子水、超纯水、水管等),废水处理。
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,天津芯片厂效果图,甚至和洁净室同级。两端式:洁净区设在一边,天津芯片厂哪家好,另一边设准洁净和辅助用房。式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为,天津芯片厂,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染,人员在进入洁净区之前,必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。
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