罗茨真空泵的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，真空泵，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。
转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分；抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×102帕，双级为1×103帕。
真空泵涡轮分子泵的极限压力p1可用泵出口压力p2除以泵的压缩比K得来，即(2-24) K涡轮分子泵的K值，随分子量的增加而增大，它对油蒸气的压缩比特别大 因而能够获得碳氢化合物污染较少的清洁真空，但对于轻的气体如氢的压缩比却很低，所以前级氢分压是影响泵的极限压力的因素，氢的分压主要来源于前级 机械泵运转时油裂解产生氢的影响，不同牌号的前级机械泵油，对分子泵的极限压力的影响远远大于泵轴承润滑油的影响。高压缩比的分子泵，经过烘烤后能获得1×10=6~1×10-9Pa的真空度，爱德华EH2600真空泵价格，氢占残余气体成分的90%以上。
说起无油真空泵，首先提到的便是爪式真空泵。它是针对电子半导体工业而研制开发的千式真空泵，适应清洁真空需求，并且具有自行开闭的阀门效果，具备较高的效率。
其次就是螺杆真空泵。螺杆真空泵与爪式真空泵一样都是非接触式的无油真空泵，泵腔内不含油、水等物质，同时转子间存在间隙，爱德华EH1200真空泵订购，因此对颗物、可凝性气体具有一定的耐受性。同时对比爪式真空泵，因为不具备类似阀门的结构，效率上有所欠缺，爱德华EH250真空泵价格，但其气道通顺、转子结构简单，适应性更好，因此两者相比各有优势。
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