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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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流体系统

流体系统是流体机械的重要组成部分；在机械工程领域，流体系统是指与一维流体管网相关的元件及流体的集合，流体系统控制单元哪家好，流体系统一般包括阀、液体泵(或气体压缩机)、管道、接头、孔和喷嘴等元件，流体系统控制单元厂家，也可能包括一些不规则形状的腔室和通道。在航空领域，典型的流体系统有飞机燃油系统、冷却润滑系统、防冰及除冰系统、发动机滑油系统及冷却系统等，这些系统无一不关乎着飞机及飞行员的的安全 。

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体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，流体系统控制单元公司，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，流体系统控制单元， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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