真空镀膜微纳加工加工-半导体研究所-青海真空镀膜微纳加工

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，真空镀膜微纳加工厂商，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

利用聚合物等温微纳米热压印技术制备的微结构制件显微照片。

微纳米科技发展迅速，是多学科交叉应用的前沿科学技术。微机电系统、微光电系统、生物微机电系统等是微纳米技术的重要应用领域。微纳结构器件是系统重要的组成部分，其制造的质量、效率和成本直接影响着行业的发展。在微纳结构器件制造中，聚合物材料具有成本低、机械性能优、加工效i率高，生物兼容性好等明显优势，以热塑性聚合物为基材开发微纳结构器件是微纳米技术的研究热点和重要发展方向之一。聚合物微纳制造技术，集现代超精密加工、MEMS技术、NAMS技术、微纳测量技术、智能控制技术等杰出技术之大成，赋予人类在微纳米尺度对聚合物制件进行设计，并批量制备特征尺寸在数十纳米到数十微米的微纳几何结构及其阵列的能力。聚合物微纳米制造技术，不仅是对传统塑料加工方法的挑战，也是对传统机械加工方法和测控技术极限的挑战，属聚合物加工领域的技术前沿，值得广大从事聚合物加工的科研人员共同付出努力。

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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工的MEMS产业早在发展初期，就呈现波浪式的发展状态。当时，真空镀膜微纳加工加工，已经出现加速计、镜光学器件和压力传感器等。MEMS器件的需求量很大，当时的价格也很高，对于企业来说也是不小的费用压力。

MEMS的领域的划分是十分清晰明确的。新的MEMS公司一般专注于某一个应用的部分的研发。但是，和早年的芯片公司，他们都在、电子、运输等领域相互追逐和竞争。在微电子上，MEMS已经成为一种可以服务于多个垂直式市场的技术。

微纳加工的出现，给MEMS公司提供了不少科研助力。芯片制造商对MEMS的到来以及小芯片的制造是非常有吸引力的。所以，早期像飞兆半导体和奥地利微系统这样的公司，就把MEMS加入到其能生产的器件范围。同样的，一些晶圆厂也逐渐成为MEMS器件加工公司。

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微纳加工中:自对准的双重成像、双线条光刻、双重光刻工艺中的双沟槽光刻技术、三重光刻等都是硬掩膜的主要应用。那么他，它在双沟槽光刻的工艺流程又是如何的呢?﹖我们简单的了解下。

1.硬掩模层(如SiN)被沉积在衬底上。光刻胶材料(PR/BARC)被旋涂在硬掩模之上。

⒉.次光刻之后，在光刻胶上形成沟槽密度为设计时一半的图形，青海真空镀膜微纳加工，即占空比(沟槽与线条比值)为1:3。

3.采用刻蚀工艺将图形转移到硬掩模层。剥离残余光刻胶之后，做第二次光刻。第二次光刻可以使用不同的光刻材料。第二次光刻的图形，同样通过刻蚀被转移到硬掩模上。

4.把硬掩模上的图形刻蚀到衬底上。

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