同时这些气体还要与金属中的碳发生反应，使其表面脱碳。如果炉中含有一氧化tan或甲wan气体，还会使金属表面增碳。对于化学性质非常活泼的Ti、Zr以及难溶金属W、Mo、Nb、Ta等，在空气炉中加热，除了要生成氧化物、氢化物、氮化物外，还要吸收这些气体并向金属内部扩散，使金属材料的性能严重恶化。
这些氧化、脱碳、增碳、吸气甚至产生腐蚀等弊病，在可控气氛炉或盐浴炉中加热，中堂真空热处理，有时也难以避免。为解决这一问题，通常的做法是在工件热处理前留有加工余量，热处理后在加工去掉氧化、脱碳层等。
精密复杂模具要进行预先热处理，消除机械加工过程中产生的残余应力。
合理选择加热温度，控制加热速度，企石真空热处理，对于精密复杂模具可采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。
在保证模具硬度的前提下，尽量采用预冷、分级冷却淬火或温淬火工艺。
对精密复杂模具，在条件许可的情况下，尽量采用真空加热淬火和淬火后的深冷处理。
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