此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，零件清洗机，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学***很少，汽车零部件清洗机，对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越***，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，清洗机，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。
旋转自喷清洗是渗入型清洗的变形。系统软件中一般包含全自动配液系统软件、清洗内腔、废水回收利用系统软件。自喷清洗在一个密闭的工作中腔内一次进行有机化学清洗、双蒸水清洗、旋转脱水等全过程，降低了在每一步清洗全过程中因为人工操控要素引起的危害。在自喷清洗中因为旋转和喷淋系统的实际效果，多槽超声波清洗机，促使硅片表面的溶液更为匀称，与此同时，触碰到硅片表面的溶液始终是的，那样就可以保证根据加工工艺时间设置，操纵硅片的清洗浸蚀实际效果，完成有效的一致性。密封性的工作中腔能够阻隔有机化学液的蒸发，降低溶液的消耗及其溶液蒸汽对身体和条件的伤害。各体系各自贮于不一样的化学***，在运用时抵达喷口以前才混和，使其维持新鮮，以充分发挥发展潜力，那样在清洗的时候会反映快。用N2喷时使药液根据较小的喷口，使其产生细细的的雾气，至硅片表面做到更快的清洗目地。 
检查所有***、清洗剂浓度是否正确：确保清洗剂及其他***容器内的余量充足，确保输送分配管道正确连接到对应的容器。 ? 观察清洗机总体情况：舱体内表面应清洁，无污点、水垢及其它污染物堆积。这些都可能影响清洗机的性能和清洗效果。污点和水垢可能表明有水质、***浓度过高等问题。确保任何适用的垫圈、密封圈、记录器都处于正常状态。
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