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19世纪50年代，法国的卡雷兄弟先后研制成功以***和水为工质的吸收式制冷机和氨水吸收式制冷机。1910年出现了蒸汽喷射式制冷机。1930年出现了氟利昂制冷剂，促进了压缩式制冷机的迅速发展。1945年，美国研制成功臭化银吸收式制冷机。
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返回压缩腔过程中把冷量传给回热器。这种致冷机效率较高，结构紧凑。微型VM致冷机是60年代中期问世的。它与微型斯特林致冷机相似，但对工作物质的压缩是依靠热腔内的活塞和膨胀活塞的适当运动，使工作物质向高温区集中来实现的。VM致冷机的效率低些，但寿命较长，制冷设备维修，机械振动较小。这两种致冷机又都有一体式和分置式（压缩和膨胀两部分由一长管连通）两种类型。后者是70年代才研制成功的，具有冷头振动小和使用方便等优点。与此相似的还有沙尔瓦致冷系统，它有分立的压缩机和膨胀机，中间用高压和低压管路相连，用阀门控制膨胀机的致冷过程。它具有寿命较长的优点，但压缩机较重，适于在地面上使用。
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膨胀阀的顶部由密封箱盖波纹薄膜感温包和毛细管组成一个密闭容器，里面灌注氟里昂，制冷设备厂，成为感应机构，感应机构内灌注的制冷剂可以与制冷系统的相同，也可以不同，比如制冷系统用的是F—22，感温包可灌注F—12或F—22，制冷设备出租，感温包用来感受蒸发器出口的过热蒸汽温度，毛细管作为密封箱与感温包的连接管，传递压力作用在膜片上，波膜片是由一块0.2mm左右的薄合金片冲压成形，断面是波浪形的。受力后弹性形变性能很好，调节杆是用来调整膨胀阀门的开启过热度，在调试过程中用它来调节弹簧的弹力，调节杆向里旋时，弹簧压紧，调节杆向外旋时，弹簧放松，传动杆顶在阀针座与传动盘之间传递压力，阀针座上装有阀针，用来开大或关小阀孔。
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