数字质量流量计报价-南京质量流量计-山西仁荷微电子科技

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质量流量计用于对于气体或者液体的质量流量进行测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。 　　

质量流量计是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器（MFC）中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。 　　

质量流量计检查出现偏差方法： 　　

1、零点是否有漂移，首先需接通电源，质量流量控制器信号为0的情况下，则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号； 　　

2、气体是否纯净，如果盘路有污染，那么流量就肯定会收到影响，这个时候可以用高纯N2多次清扫，如果还是不能解决则需要找维修点接受A／S； 　　

3、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力，如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。

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质量流量计的特点为：

1.管状分流，不易堵塞

2.预热时间短，可靠性高

3.适用于各种低压和高压管道

4.数字量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量

数字型气体质量流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应，利用温度差量热法原理测量气体的质量流量，并将传感器测得的流量信号进行放大，不受温度压力的影响。

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热式质量流量计根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。

1.接触式热式质量流量计

这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内，与流体直接接触，常被称为托马斯流量计，适于测量气体的较大质量流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触，因此元件易受流体腐蚀和磨损，影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用，这是接触式的缺点。

2.非接触式热式质量流量计

这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外，与被测流体不直接接触，克服了接触式的缺点。

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