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洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃***或高浓度氧气的真空泵，天津无尘车间装修工程，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系，净化空调系统既要服从建筑总体布局，天津无尘车间装修施工，建筑布局也要符合净化空调系统的原则，天津无尘车间装修，才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置，而且要给建筑布局提出要求，使其符合洁净室原理。洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。