真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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氢冷汽轮发电机
氢气中含氧量很少，低于2％，不助燃，即使发电机内部发生短路故障，也不会有着火的***，从而可使故障损坏程度大为减轻。
在氢气中，氦检漏设备，噪音较小，而且绝缘材料不易受氧化和电晕的损害。
缺点是一旦于空气混合后在一定比例内(4％～74．2％)具有强烈的特性，所以发电机外壳都设计成防爆型，气体置换采用C02作为中间介质。
氮气和氢气的混合气的用途
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其***和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，冷柜内胆氦检漏设备，大多数质量较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较严重，故成本也较高。
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