采用压力控制器方案，控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力，该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力，派瑞林镀膜加工涂层，从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
派瑞林（parylene）材料本身的阻挡特性远优于其它高分子涂层，派瑞林镀膜加工，作为一种阻挡层可有效地防止各种阴阳离子的扩散迁移，从而可靠地保护产品；派瑞林（Parylene）涂层工艺有效阻止了离子在涂层和产品基板界面的扩散，大大减少了常见的涂层内腐蚀。
派瑞林（parylene）材料作为涂层，派瑞林（parylene）超薄、无孔隙、均匀、同形性好、耐腐蚀、与******及血液相容等一系列优点，使其在生物***领域应用广泛， Parylene不仅提供了惰性、生物相容的隔离层，可有效防止外界的***、水分和体液的侵蚀，同时增加了器件表面的干润滑性和绝绿性能。
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