高压清洗机是通过动力装置(电动机、柴油机)使高压柱塞泵产生高压水来冲洗物体表面的机器。它能将污垢剥离，冲走，达到清洗物体表面的目的。因为是使用高压水柱清理污垢，所以高压清洗也是世界公认较科学、经济、环保的清洁方式之一。可分为根据现场使用和工艺要求可分为：冷水式、热水式、在特殊场合还有防爆式、食品行业专用式等多种。
湿式制程化学台产于美国。湿式制程化学台有标准型和更优的，标准型湿式制程化学台使用于一般要求，更好的湿式制程化学台具有优良性能。是一种灵活，安全和实惠的研发工具，湿蚀刻清洗设备EDC 系列常被应用在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥，泰州功率器件，开发-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的零孔隙度特富龙流体路径等特点，干净的ECTFE圆顶盖使用户能够实时观察过程的安全运行。
EDC 系统具有可编程阀，它可以使单***滴胶按照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等后面的处理步骤。蚀刻/显影/清洗***系统采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和***的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。
化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），功率器件腐蚀机，主要有HF，H2SO4，H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，功率器件腐蚀设备，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，功率器件清洗设备，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。
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