河北压缩机氦检漏-科创真空(在线咨询)-压缩机氦检漏厂家

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，压缩机氦检漏哪家好，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并***其性能，河北压缩机氦检漏，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到***或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，压缩机氦检漏报价，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

氦检漏设备

氦罩法

在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入氦气或氦气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。

氦质谱检漏仪常用检漏仪检漏方法详解

喷氦法

在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽，压缩机氦检漏公司，就可以提高检漏效率和时间，喷氦法在检查那些结构比较复杂的，密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时，由于氦喷出后会很快扩散开来，往往不容易准确地确定漏隙所在的部位，要采取从不同角度喷氦，仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法，就可以把漏孔逐个检出。