特种气体广泛应用于半导体制造行业，特种气体供应商，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的***标记(例如、、***等) 。 特种气体 specialily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。随着国产化的推进，部分种类的电子特种气体慢慢形成规模效应，占据市场半壁江山。一些常规的特气产品，大连特种气体，中国的产能甚至可以满足范围内的需要，但需清醒的看到，特种气体价格，从竞争力，质量管理，品牌效应方面来说，我们仍然处于低水平区间。根据有关数据显示，中国特种功能电子气体市场规模逐年增长，高纯特种气体，仅2016年，中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，从产业链以及技术层面欧美***占据较好的地位。
自80年代1开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达***水平相近。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。包装标志：有***体。常温下，干氯不腐 蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与大气中的湿气隔离
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