净化技术的设备发展
对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为***的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个***和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
无尘室温湿度控制方法：
1、无尘室温湿度维护管理。
①无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），万级洁净室好不好，做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。
②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘***、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。
2、室内发尘不积留。
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期***和清扫、制程设备四周应留有空间。
3、发生尘埃排除。
换气次数应足够，万级洁净室哪家好，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。
净化工程乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板
或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，万级洁净室，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激1活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
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