汕尾普发分子泵TMH071-010-005P-广州潽拓光电科技

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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON 

INFICON皮拉尼复合真空计

产品型号：BPG400

I

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制，从低至超高真空范围

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

很好的重复性，压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件，保证高度重复性

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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修

概要：

涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。

主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。

标准规格如下：

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广州潽拓光电

真空泵油的性能要求：

1，高温下饱和蒸汽压要低，易挥发成份要少。

2，低水含量和吸水性。

3，要有一定粘度，且随温度变化小（粘度温升曲线平滑）。

4，润滑性能好，机械应力下具有良好的抗裂解性。

5，抗腐蚀、抗yang化、化学性能稳定。

  对大部分应用，莱宝真空泵使用Leybonol品牌标准矿物质基油品，油牌号LVO 1XX，具有适宜的化学稳定性和热稳定性，耐水解，与密封材料的相容性很好。

针对一些特殊应用，标准油品的某些弱点表现为：

1，高温时的稳定性较差。

2，化学反应（酸、碱、卤素）的惰性较差。

3，遇到强氧化剂时（氧气）的惰性较差。

4，对非极性物质（蜡、油脂）的溶解性较差。

5，对极性物质（低聚物、树脂、分解产物、特别是结晶物）和聚合物的溶解性较差。

  因此在特殊应用中，可以使用一些泵适用的特殊润滑品做工作液，或者在泵油中调入添加剂以增强某方面的性能表现。

  但须注意，添加剂可能会使泵油的真空表现达不到期望值，如真空度差，甚至与抽排气体发生反应。因此使用如果未经审验的油品，可能造成换油频繁，真空性能降低，油反应产生沉淀，甚至损坏泵。