气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。
分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
立式多级离心真空泵在安装时稍有不慎就会导致安装没做好，影响日后真空泵的工作性能。接下来为大家解析一立式多级离心真空泵下常见的安装误区及有关的解决办法。一、立式多级离心真空泵进水管路上弯头多，若是在进水管路上用的弯头多，会添加有些水流阻力。而且弯头应在笔直方向转弯，不允许在水平方向转弯，避免集合空气。二、装置进水管路时，水平段水平或向上翘。这样做会使进水管内集合空气，下降水管和水真空泵的真空度，使水真空泵吸水扬程下降，出水量削减。正确的做法是：其水平段应向水源方向稍有歪斜，不该水平，更不得向上翘起。
