根据超级电容的设计生产能力，标准配置也可以进行调整，晶圆腐蚀，设备数量因产量而增加或减少。
全自动超级电容真空干燥系统系统特点：
在各单个制备工序以及在从一道工序转移到下一道工序的过程中完全实现真空环境；
高真空度、高工作温度、高温度均匀度、技术参数全程·、自动化控制。
全自动超级电容真空干燥系统优势：
真空干燥时间可达3-4小时，比传统工艺24-36小时数倍缩短，生产效率数倍提高；
制备全过程高真空环境，高工作温度，高温度均匀度
有效排除超级电容CELL内部水、气、杂质的影响；
从而提高CELL功率密度，降低CELL内阻，改善CELL高频特性；
极大地提升了超级电容CELL和MODULES的一致性及使用寿命等技术参数。
硅清洗技术经历了持续的发展改进，半导体湿法腐蚀设备，包括早期用气相等效物替代在湿***中进行的部分清洗操作。难以置信的是，现代***的Si清洗仍然依赖于大体上同一组化学溶液，苏州腐蚀，不过它们的制备和送至晶圆的方法与期初提出的已大不相同。此外，传统上用湿清洗***做的表面选择清洗/修整功能现在是在气相中做的。
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds***集中供液系统解决方案
RCA清洗法:自从20世纪70年代RCA清洗法问世之后，几十年来被广泛采用。它的基本步骤初期只包括碱性氧化和酸性氧化两步，金属腐蚀台，但目前使用的RCA清洗大多包括四步，即先用含***的酸性进行酸性氧化清洗，再用含胺的弱碱性进行碱清洗，接着用稀的qing氟酸溶液进行清洗，然后用含盐酸的酸性进行酸性氧化清洗，在每次清洗中间都要用超纯水（DI水）进行漂洗，然后再用低沸点进行干燥。
