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净化厂房的净化车间设备：净化车间进风系统要安装新风过滤箱、净化空调末端要有送风口。必要时要安装净化增压箱。净化车间回风系统：回风口、过滤初效器、中效回风箱；净化车间前入缓冲区：缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜、空气清新机净化厂房装修中人、货物进入净化车间必须经过风淋室（货淋室），传递窗传递小物品；净化厂房装修中在净化车间局部需要达到10——1000级的地方安装垂直层流工作台、层流罩（FFU）洁净棚（可移动式工作棚）、自净器。测无尘室洁净度用激光尘埃粒子计数器。

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，天津实验室净化工程公司，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

顶部技术夹层。在这种夹层内一般因送、回风管的断面，故作为夹层内首先考虑的对象。一般将其安排在夹层的上方，其下安排电气管线。当这种夹层的底板可承受一定重量时，天津实验室净化工程，可以在上面设置过滤器及排风设备等。房间技术夹层。这种方式和只有顶部夹层相比，天津实验室净化工程施工，可以减少夹层的布线与高度，可以省去回风管道返回上夹层所需的技术夹道。在下夹道内还可设回风机动力设备配电等，某层洁净室的上夹道可以兼做上一层的下夹道。