原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种，化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止，适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉积的材料包括：氧化物，派瑞林纳米真空镀膜，氮化物，纳米派瑞林镀膜供应商，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米孔道尺寸的控制，派瑞林镀膜，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。
由于PVD涂层能提供更好的边缘保持力，防止氧化和腐蚀，在切削过程中保持清晰，不会与骨骼、***或体液发生反应，故而，越来越多都用于，例如锋利的***器械、针头、钻头、、各种装置组件以及应用的“磨损”部件。PVD功能性硬涂层(如DLC，TIN)已广泛应用在不锈钢零部件上，作用是可减少摩损和延长零部件寿命，但因为涂层本身有缺陷和，所以使用在一些 耐腐蚀要求高的环境下，效果不佳。PVD功能膜配合纳米透明膜是目前更理想的解决方案：PVD涂层提供耐磨性，纳米透明膜提供耐腐蚀性。
PVD工艺一般只是直线沉积，气表派瑞林镀膜技术，对形状复杂，纵横比高或有深孔的工件是难以得到均匀的厚度。纳米透明膜可解决这问题，无论形状多复杂，每个位置的膜厚都是一致的，没有大偏差。
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