




超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中,edi纯水设备报价,超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的质量直接关系到半导体的成品率,edi超纯水设备,随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高,对超纯水质量的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率和TOC与气泡中的某一指标稍有差异,就会使半导体元件生产的合格率下降。
EDI超纯水设备中的EDI其实是电去离子的英文简称,它是将电渗析和离子交换技术结合起来的一种深度脱盐技术。在电渗析的淡水室隔板中填充离子交换树脂,保留电渗析可连续脱盐及离子交换树脂深度脱盐的优点。同时又克服了电渗析浓差极化所造成的不良影响,运用技术将离子的电迁移技术结合形成的制备超纯水的技术,符合绿色环保理念,既简化了处理工艺又避免了环境污染。

工业纯水设备中EDI工艺的优势
连续产出超纯水,出水水质具有的稳定度,以高产率产生超纯水(产率可以高达95%);
模块化生产,edi纯水设备价格,实现设备的全自动控制;
不需要酸碱再生,不会因为再生而停机;
不需要酸碱稀释运输设施和酸碱储备;
设备结构紧凑,体积小,占地面积少;
使用,edi纯水设备,避免人工接触酸碱;
节省了反冲和清洗用水,无再生污水,不须污水处理设备;
安装简单方便,安装费用低廉;减低设备的运行成本及维修成本;
设备运行操作简单,劳动强度较低;
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