光电器件真空镀膜MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，福建光电器件真空镀膜，以及行业应用技术开发。
哪些溅射靶材可用于热反射镀膜
锌溅射靶材
锌是一种蓝白色、有光泽、抗磁性的金属，尽管常见的商业级金属具有无光泽的表面。它在某种程度上比铁密度小，具有六方晶体结构，光电器件真空镀膜价格，具有紧密六方堆积的扭曲形式。同时，每个原子在其平面上有六个近的邻居（在 265.9 pm），另外六个在 290.6 pm 的更远距离处。金属在大多数温度下坚硬易碎，但在 100 到 150 ℃ 之间变得可塑性。210℃以上，金属又变脆，敲打即可粉碎。锌是一种公平的电导体。对于金属，锌的熔点（419.5 ℃）和沸点（90）相对较低。
锰溅射靶材
锰是一种化学元素，符号为 Mn，原子序数为 25。它在自然界中不是自由元素；它通常存在于与铁结合的矿物质中。锰是一种具有重要工业金属合金用途的金属，特别是在不锈钢中。锰是一种银***的金属，类似于铁。它坚硬且非常脆，难以熔化，但容易氧化。锰金属及其常见离子是顺磁性的。锰在空气中会慢慢失去光泽，并在含有溶解氧的水中像铁一样氧化（“生锈”）。
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在溅射的时候，气体经过电离之后，在较低的电压和气压之下产生的离子数目比较少，而且靶材溅射效率低下。如果想产生较多的离子，就要保持在高电压和气压之下，不过这样也有弊端，就是会导致基片发热，甚至发生第二次喷溅，后影响到制膜的质量。除此之外，光电器件真空镀膜服务价格，靶材原子与气体分子的碰撞几率也会变大，特别是在靶材原子飞向基片的过程中，如果发生这样的情况，造成靶材的浪费的同时还会制造出污染。针对这样的问题，才开发出来直流磁控溅射技术，这项技术早在上世纪七十年代就已经出现。能够有效***电话上述问题，获得了迅速发展和广泛应用。
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热反射镀膜玻璃又称阳光控制镀膜玻璃，俗称镀膜玻璃，是指具有反射太阳能功能的镀膜玻璃。一般通过在玻璃表面镀上金属或金属氧化膜，可以反射大量的太阳辐射和光线。
热反射玻璃
热反射玻璃具有良好的遮光和隔热性能。近年来，热反射镀膜玻璃已广泛应用于宾馆、饭店、商业场所。随着节能问题的日益突出，热反射玻璃也被应用于住宅建筑。
热反射汽车玻璃
热反射镀膜玻璃能有效反射太阳红外光（20-25%），阻隔热量进入车内（隔热性能>30%），降低空调负荷，保持良好的透光率（70- 75%），并保持清晰的视野。因此，热反射镀膜玻璃对溅射靶材的需求不断增加。
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