技术优势
自动调节浓度
自动计算气体流量
压差和温差不影响质量流量测量
内部存储校准数据
经过多项校准，精度实际可达百分零点几
同时混合8种气体
测量和规定范围可根据客户要求定制
通过接口与外部PC连接控制
自动程序控制
通过校准检查质量流量控制器
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多点动态气体配气仪技术指标
常规稀释倍数为：200:1，两路MFC流量控制；
流量范围、稀释倍数等根据用户要求可随便设计及装配：
流量重复性：≤0.5%
流量线性误差：≤±0.3%
配气不确定度：<1%
预热时间：30min
自动调零：预热结束后自动调整MFC的零点，智能气路控制系统公司，或从预热调零页面重复调零
仪器电源：220VAC
使用环境：5℃～45℃
外型尺寸：400mm宽x195mm高x500mm深
仪器重量：约8kg
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配气仪原理
配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器，控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置，便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。
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