




真空泵维修真空泵常规问题修复,就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多,一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术,其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时,就得依据损害配件来确定是否可进行维修
泵系列
ES 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用,也可以与 EH 系列机械增压泵 (提供从 EH250 到 EH4200 的选配型)配合使用,以便同时提和 极限真空。
ES65
ES100
ES200
ES300
ES630
泵附件
提供一系列附件以 便于控制 ES 泵
油位开关
用于远程监控 油位,以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 PT100 或 120?C 传感器配合提供。
温度 传感器
用于监控油温的 PT100 和 120?C 温度传感器。
入口 过滤器/入口承接罐
入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构,因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构,爱德华真空泵维修哪家便宜, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,汕头爱德华真空泵维修,通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
EM 系列大中型旋转式叶片油封式真空泵
EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵,抽速为 0.7 到 275 m3/hr(30 到 206 CFM)。这些泵结构紧凑,使用时非常安静,爱德华真空泵维修哪家好,具备***的润滑回路,可靠性高,配有各种附件,可以满足特定的应用需求。
E2M40 与 E2M80
Edwa*** E2M 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。
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