SGC-D3Y200 全自动接触角测量仪 半导体专用水滴角测试仪：晶圆、芯片、半导体元件、基板等材料的表面洁净度分析
苏州尚高检测设备有限公司是从事各种检测设备的研发、生产及销售为一体的现代化公司。为各个***企业、研究所、院校等领域提供质量管控检测设备及测试解决方案。尚高公司有着多年的市场行业经验，拥有力学检测设备、光学检测设备、环境检测设备、可靠分析设备、自动化在线检测设备及实验室辅助试验测量工具等产品大类。产品涉及众多领域并满足各个行业的测试标准及***标准。我们将全力为您的质量管控体系做的帮手！
一．主机图片：
二．功能概述：
本接触角测量仪特别订制的圆形样品台专用于晶圆（Wafer）样品的测试。通过测试液滴在晶圆样品表面形成接触角的大小，来检测其表面的洁净程度和评估表面处理的工艺效果。
三．技术指标：
技术项目 | 功能指标 |
1．接触角测量 | 1-1．分析算法：量高法、量角法、圆环法、椭圆法、切线法、Y-L法 1-2．具有左接触角、右接触角和平均接触角分开测试和比较功能 1-3．具有凹面、凸面、弧面、超亲水、超疏水等特殊表面分析功能 1-4．具有不规则形、非轴对称本征接触角的分析功能 1-5．具有自动分析接触角变化过程的批处理测试功能 |
1-6．测量范围：0°～180° 1-7．测量精度：±0.1° 1-8．提供标定块，可随时对测量精度进行校准 1-9．测量分辨率：0.001° | |
2．表面/界面张力测量 | 2-1．分析算法：手动法、自动法 2-2．测量范围：0.01～2000mN/m 2-3．测量精度：±0.1% 2-4．测量分辨率：0.001mN/m |
3．表面能估算 | 3-1．估算模型：Fowkes、扩展Fowkes、Owens-Wendt、van OSS、 Wu调和平均法、状态方程法 3-2．可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、 路易斯酸分量、路易斯碱分量等 |
3-3．液体数据库：预置37种常用液体表面张力及其分量数据， 数据可直接调入用于表面能估算 3-4．液体库数据可自行添加、删除和修改 | |
4．润湿性分析 | 4-1．通过液体的表面张力和对固体的接触角可分析该固体的润湿程度， 包括粘附功、铺展系数和粘附张力 |
5．数据管理 | 5-1．通过试验模板保存试验信息、试验数据和图片 5-2．新建的试验模板保存后可重复调入使用 5-3．可对试验数据进行修改、删除和调入再分析等 5-4．试验数据可标注于图片上，并随图片一起保存 5-5．试验结果可导出至Word、Excel和PDF |
6．图像拍摄 | 6-1．单张拍摄、连续拍摄、视频录制和图片回放 6-2．可选择采用相机外觖发功能自动拍摄 |
7．光学成像系统 | 7-1．相机：300万像素、帧率200帧/秒 7-2．镜头：0.7～4.5×连续变倍、工作距离195mm 7-3．调焦范围：±12.5mm；调焦精度：0.25mm 7-4．调焦时软件自动检测清晰度，消除人为误差 7-5．水平和俯仰调整范围：±2° 7-6．背光源：LED冷光源+遮光板，亮度无极调节 |
8．滴液系统 | 8-1．滴液方式：软件控制进样器自动滴液和自动升降 8-2．***小滴液量：0.1μl/滴 8-3．滴液精度：±0.05μl |
9．样品台 | 9-1．台面尺寸：Ø200mm 9-2．移动行程：X200×Y200×Z50mm 9-3．移动方式：软件控制样品台单点或多点自动***+手控摇杆任意*** 9-4．样品台多点移动的运行参数可预先设置并保存，之后可重复调入使用 |
10．主机参数 | 10-1．尺寸：约W1000×D650×H560mm 10-2．重量：约60kg 10-3．电源：1∮ AC220V 50HZ |