苏州晶淼半导体(图)-腐蚀清洗机-淮安清洗机

一种晶圆清洗机的防喷溅装置，该晶圆清洗机包含一晶圆承载装置及一围绕设置于该晶圆承载装置的周壁，该晶圆承载装置包括一承载吸盘，该防喷溅装置罩设于该晶圆承载装置外周围，该防喷溅装置包含一屏蔽单元及一驱动机构。屏蔽单元包括一顶端，屏蔽单元可相对于晶圆承载装置在一收合状态及一展开状态之间变换。在收合状态时，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一距离，在展开状态时，淮安清洗机，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一第二距离，第二距离大于距离。驱动机构与屏蔽单元相连接用以驱动屏蔽单元在收合状态及展开状态之间变换。借此，可将清洗液喷溅的范围限制在屏蔽单元内，以防止清洗液喷溅至其它物件。

集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，单片清洗机设备，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。

现有技术中，待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上，通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗，清洗范围有限，石墨件清洗机，不能对晶圆板的反面进行清洗，需要反向再次放置晶圆板，使得清洗效率低一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳(1)和位于箱壳(1)顶部的翻盖(2)，其特征在于，所述箱壳(1)的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆(3)，两个所述直杆(3)之间固定连接有晶圆固定件。