MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
mems设计之硅压阻式压力传感器设计
mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备良好线性输出，要考虑其***大变形量，硅硅键合微纳加工外协，敏感薄膜表面***大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。 
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微纳技术制造的未来发展与趋势
制造业的发展，目前对加工精度的的要求越来越高，河南硅硅键合微纳加工，微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止，微纳技术在国i防军i工及民用产品已经得到广泛应用，特别体现在纳米级机械加工、电子束、LIGA技术和扫描隧道显微加工技术、看离子束加工等领域，应用十分广泛。
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功能性超浸润表面的微纳加工制造
浸润性可控表面在诸多领域都有着十分重要的应用价值，具体体现在交通，建筑，硅硅键合微纳加工委托加工，医i药，生物芯片以及微机电系统等领域。就目前的研究现状而言，微纳加工制造工艺普遍难以满足浸润性调控所需的复杂微纳结构梯度以及跨尺度制造的要求，对这方面的探索有着很大的研究空间和研究价值。
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