氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力，电力中高压电力环网柜真空箱测漏系统，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，真空箱测漏系统，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，充气柜测漏系统，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如：瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。
另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了良好的条件。
氦气检漏的主要参数及优势
1、关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；
2、真空箱内氦气本底抑零，测漏系统，保证了检漏的准确性、；
3、特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；
4、实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；
6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；
7、定制的的密封接头，，减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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