真空泵维修厂-东欧真空(在线咨询)-惠州真空泵维修

真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，惠州真空泵维修，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：

1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；

2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；

3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，找平先用水泥浆填充顶座，真空泵维修厂，待水泥浆做先再检查一下水平度；

应用

半导体的目标应用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目标应用包括：

PECVD

TCO

刻蚀

传输腔

主要特性和优势

针对***的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。

大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。

占地面积更小，WHV7000真空泵维修，高度更低，便于在任何工厂中安装。

符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。

真空泵维修不仅是单纯的零件更换，还涉及真空泵转子，叶片，轴位等精度高，难度大的修复工序，对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内，这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转，所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。

特性和优点

可靠性

可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑

稳定

无制程污染 - 油和空气反吸保护

性能

长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承

再保证

安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准

可靠且稳定 - 高真空性能

机械真空泵常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。

解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。

抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，真空泵维修哪家好，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

应用

一般清洁泵送

电子扫描显微镜 (SEM)

射束线和高能物理

前级涡轮泵

超高速离心机

***的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视

泵系列

下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高的，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。

nXDS6i

nXDS10i

nXDS15i

nXDS20i

nXDS-C