




真空泵维修对零件更换的要求
真空泵维修过程中,零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要,对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解,同时注意其零件之间的精度及配合公差,普旭真空泵维修哪家好,因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。
主要特性和优势
双活塞设计 | 便于维修,部件更少,各个型号之间的部件可相互替换,大间隙设计优化了在要求严苛的应用中的性能
外部平衡 | 极低的振动级别,普旭真空泵维修哪家优惠,便于维修
三轴承设计 | 坚固耐用的重型设计,活塞和滑片使用寿命更长,与市面同类型产品相比维修间隔平均时长增加高达 50%,密封件寿命更长
密封阀盖 | 使用寿命更长,低噪音,易于维护,部件之间可相互替换,适用于严峻环境的哈氏合金弹簧以及复位弹簧设计
O 形圈密封件 | 易于维修,维修间隔更长,清远普旭真空泵维修,泄漏风险降低
集成式组装性能 | 减少泄漏通路,便于安装配件
低转速 | 转速小于 500 RPM,比市面同类型产品慢达 50%,损耗更少,旋转损耗泵的寿命更长,处理微粒应用的能力更强
全泵速可达 1 Torr | 减少循环时间
较低的极限真空 | 极限值小于 0.01 Torr
高达 600 Torr | 持续高压泵送,具有适用于多种应用的灵活性,操作简单
泵系列
Stokes 212J
Stokes 412J
Stokes 612J
应用
目标应用包括:
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
螺杆真空泵是利用一对相互啮合的螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,普旭真空泵维修多少钱,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及粉尘的气体场合。
真空泵维修是的真空设备供应商,在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有***地位。日本Seiko Seiki曾是清洁和干燥真空技术的,STP系列磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售,如今被Edwa***收购。
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