该方法的主要优点是可以用很少的步骤合成极其大量的探针阵列。例如，合成 48 （ 65536 ） 个探针的 8 聚体寡核苷酸序列仅需 4 × 8=32 步操作， 8 小时就可以完成。而如果用传统方法合成然后点样，那么工作量的巨大将是不可思议的。同时，用该方法合成的探针阵列密度可高达到 106/cm2 。不过，如何表面羟基化，尽管该方法看来比较简单，实际上并非如此。
微阵列芯片的优势在于可同时扫描大量感兴趣的***，但其研究的瓶颈也在于此。一次实验会产生大量的数据， 如何分析这些数据并得出在生物学上有意义的结论 ，金属表面羟基化， 是微阵列芯片技术进一步发展完善的重要课题。在这方面需要借助于计算机技术和多种统计学方法 。在现在应用的多种数学模型之间还没有进行过大规模的对照研究 ， 因而对于它们的效能尚不能给予充分 、 的评估。
它是在***探针的基础上研制出的，羟基化表面处理，所谓***探针只是一段人工合成的碱基序列，在探针上连接一些***芯片
可检测的物质，上海表面羟基化，根据碱基互补的原理，利用***探针到***混合物中识别特定***。它将大量探针分子固定于支持物上，然后与标记的样品进行杂交，通过检测杂交信号的强度及分布来进行分析。***芯片通过应用平面微细加工技术和超分子自组装技术，把大量分子检测单元集成在一个微小的固体基片表面，可同时对大量的核酸和蛋白质等生物分子实现、快速、低成本的检测和分析。
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