




废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
洁净室设在外围,化妆品厂净化工程,而走廊设在内部,化妆品厂净化工程施工,这种走廊的洁净度级别一般都较
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和洁净室同级。两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,武清化妆品厂净化,减少了冷热能耗,利于节能。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染,人员在进入洁净区之前,必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。
洁净厂房的工艺平面布置:① 净室(区)内只布置必要的工艺设备,以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。② 有空气洁净度要求的洁净室(区)应靠近空气调节机房;空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧;易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。③ 充分考虑大型设备的安装运维路线,预设安装口和检修口。④ 设置气闸室、传递窗;单独的物料入口。⑤ 车间内各项固定技术设施(送风口、照明器、回风口、管线等)的布置应优先考虑净化空调系统的要求。
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