净化厂房的净化车间设备：净化车间进风系统要安装新风过滤箱、净化空调末端要有送风口。必要时要安装净化增压箱。净化车间回风系统：回风口、过滤初效器、中效回风箱；净化车间前入缓冲区：缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜、空气清新机净化厂房装修中人、货物进入净化车间必须经过风淋室（货淋室），天津芯片厂净化，传递窗传递小物品；净化厂房装修中在净化车间局部需要达到10——1000级的地方安装垂直层流工作台、层流罩（FFU）洁净棚（可移动式工作棚）、自净器。测无尘室洁净度用激光尘埃粒子计数器。
卤化有机磷化合物可作阻燃剂
芯材有以下几种：a． 硬质聚氨酯泡沫：可壁内发泡，隔热性能优良。加入卤化有机磷化合物可作阻燃剂，由于混合方法不同分为：可燃级、阻燃级、难燃级。b． 石棉碳酸钙：以轻质碳酸钙为主要原料，天津芯片厂净化车间装修，与无机纤维和耐火强化剂混合使之发泡，以少量聚树脂作为粘合剂成型，防火性能好，属于准不燃型板。c． 夹聚板：通过胶与加压，天津芯片厂净化车间，把保温用的聚板夹在两块钢板之间，燃烧时会产生刺激性气体。防火要求高的场所不宜大量使用。
半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），天津芯片厂净化工程，暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含***控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。
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