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各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理
各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理,简称“物净”。物料净化路线与人净路线应分开,如果物料与人员只能在同一处进入洁净室,也必须分门而入,物料并先经过粗净化处理。对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。如果生产流水线很强,则采用直通式物料路线,有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。在系统设计上,物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对洁净区应保持负压或零压,如果污染***性大则对入口方向也要保持负压。
电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A);电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa;电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
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