该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成，在重合室中放置对象物品，在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后，升高汽化炉的温度（120~180℃），真空镀膜手机，使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室，通过高温（650~700℃）分解炉后，生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触，其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合，形成高分子量的聚对二树脂膜。
现在有采用 大型 喷涂 、直接 浸渍 、小型 设备 喷涂 、淋涂、刷涂 等多种 方式 ，五金真空镀膜，各有 优缺点 ，应选择 既节约成本，真空镀膜，操作 简单 ，又能保证质量 的方法 ，尽量 不对N多参数 的涂料 进行 调整 ，调制 工序 复杂 的涂料 产品 ，不可控因素较多的涂料 产品 也不易 选择 ，如涂布 过程 中经常 起泡 ，或涂膜 速度 过慢 等。
同时 还要 采用 多种 方法 进行 对比 试验 ，在有限 的条件 下尽量 挑选 几种 涂敷 方式 进行 试验 比较 ，从工序 、工时 、标准化 程度 、结膜 成功率 、涂敷 均匀度 、干燥 时间 、操作 难度 等方面 入手 ，找出 比较 适宜 的进行 小批量 试产 ，然后 推广 到大批量 应用 。
20世纪60年代美国联合碳化物公司推出了Parylene派瑞林系列新型高分子敷型涂层材料，由于其优异的阻隔性能在防潮、防霉、防盐雾的三防涂层材料领域得到广泛应用。派瑞林原料C型、N型、D型、F型、AF4型是派瑞林聚合物的新一代衍生物，包括苯环取代和亚取代两类，真空镀膜加工， 氟原子的引入能够较好地改善薄膜的电学性能和热稳定性。Parylene系列衍生物的研究主要集中在单体环二体的合成方法及薄膜的特性研究，有关薄膜制备方法的报道较少，曾有采用液态前驱体进行薄膜制备的文献报道。
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