




消费者在选购氦质谱检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求,氦检漏系统,并且在挑选氦质谱检漏仪时注意这种设备的价格和操作模式,检漏仪喷氦法一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷氦。氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,
氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所,连接好检漏用管路及压力表,应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的,所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果,因此,测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高, 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
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