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在洁净室建筑之外单独建立机房，但其离洁净室很近。机房要注意隔振、隔音问题，地面应全部做防水处理，并有排水措施。隔振：应在振源的风机、电机、水泵等的支架、底座作防振处理，甚至有必要的话将设备安在混凝土板块上，再用防振材料支撑该板块，天津芯片厂效果图，该板块的重量应为设备总重量的2～3倍，。隔声：除去系统上安装消声器外，大型机房可考虑在墙壁上贴附有一定吸声性能的材料，要装隔声门，切忌在与洁净区的隔墙上开门。

内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为，天津芯片厂价格，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，天津芯片厂公司，减少了冷热能耗，利于节能。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。

洁净厂房的工艺平面布置：① 净室（区）内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。② 有空气洁净度要求的洁净室（区）应靠近空气调节机房；空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。③ 充分考虑大型设备的安装运维路线，预设安装口和检修口。④ 设置气闸室、传递窗；单独的物料入口。⑤ 车间内各项固定技术设施（送风口、照明器、回风口、管线等）的布置应优先考虑净化空调系统的要求。