




在洁净室建筑之外单独建立机房,但其离洁净室很近。机房要注意隔振、隔音问题,地面应全部做防水处理,并有排水措施。隔振:应在振源的风机、电机、水泵等的支架、底座作防振处理,甚至有必要的话将设备安在混凝土板块上,天津车间净化工程哪家好,再用防振材料支撑该板块,该板块的重量应为设备总重量的2~3倍,。隔声:除去系统上安装消声器外,天津车间净化工程,大型机房可考虑在墙壁上贴附有一定吸声性能的材料,要装隔声门,切忌在与洁净区的隔墙上开门。
智能平台:洁净系统中的风量控制
智能平台:洁净系统中的风量控制采用文丘里阀门,实时监控流量及状态,天津洁净车间装修,可在线诊断。并可以维持房间压力、温度、湿度的平稳可靠。中控室中把空调、特气、纯水、监控、房间温湿度等参数集成管理、显示、储存,并对数据进行打印输出及溯源查找。并经设备输出在参观通道播放,方便参观。弱电系统工程:高清视频监控系统空调动力电工程:统计总用电量约830KW,天津车间净化工程哪家靠谱,空调用电约330KW。动力(镀锌线槽)沿墙体及天花敷设,再分至车间及设备电箱,安装在楼板下。主电缆采用YJV型号。
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
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