




EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后,GV80真空泵维修中心, 维修方法是更换老化的密封部件,GV80真空泵维修哪家强, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。有条件的对管中同样进行清理,确保管路畅通。
爱德华真空泵维修:真空容积,河源GV80真空泵维修,检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
泵系列
Edwa*** 获得的螺旋转子设计 针对高可用性而设计,它提供的抽取速度,并且是***的热 管理系统的一部分,可以程度地提高泵性能并延长密封、轴承和 电机的使用寿命,以确保泵具有长的使用寿命。
GXS160
GXS160/1750
GXS250
GXS250/2600
GXS450
GXS450/2600
GXS450/4200
GXS750
GXS750/2600
GXS750/4200
GV80真空泵维修中心-东莞东欧真空设备由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司为客户提供“真空机电设备及零配件,电子材料,仪器,润滑油”等业务,公司拥有“真空泵维修,真空泵排气过滤器,进口真空泵油”等品牌,专注于真空泵等行业。,在广东省寮步镇翠香中路6号的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:饶钦辉。