XCV系列
XCV系列采用Akribis音圈电机，具有以及高频率的特点。适用于中载，高频的应用。适用于亚微级***，取放，力控制。
设计特点：
A. 音圈电机直接驱动直线机械平台
B. 无嵌齿效应，无背隙
C. 高重复精度
E. 适用于短行程，高速高加速应用
F. 采用交叉滚柱导轨，高刚性
G. 化动态性能
| 规格参数 | 单位 | XCV30 |
| 有效行程1 | mm | 4 |
| 电机型号 | - | ***M30-HF-4-C116-0.5 |
| 持续力 | N | 7.27 |
| 峰值力 | N | 46.17 |
| 分辨率 | μm | ABI21: 1.0/0.5/0.2 |
| AT2: 0.2/0.05 | ||
| 重复***精度 | μm | ABI21: 1.0/0.5/0.2:±1 |
| AT2: 0.2/0.05:±0.5 | ||
| 直线度 | μm | ±3.0 |
| 平面度 | μm | ±3.0 |
| 额定负载2 | kg | 1.0 |
| 空载运动质量 | kg | 0.072 |
| 空载总质量 | kg | 0.48 |
| 容许负载 | kg | 4.0 |
| 容许侧倾力矩 | Nm | 5.0 |
| 容许俯仰力矩 | Nm | 7.3 |
| 容许横摆力矩 | Nm | 7.1 |
注：
1.行程的定义根据防撞块至防撞块，即机械行程。该机台为短行程机台，有效行程即机械行程。
2.在此负载下，平台可以提供不少于1G的加速度。
