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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修，请务必确认维修厂家有无如下设备及备件：  氦质谱检漏仪：是用来测试分子泵有无渗漏的，五轴磁悬浮分子泵维修后，因真空密封及接口较多，很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差，岛津真空泵***联系电话，又直接导致镀膜质量差。

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压缩比通常是指泵的排气压力与进气压力的比值. 对于涡轮分子泵来说，岛津真空泵***， 压缩比是指在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比。压缩比的高低取决于几个因素， *重要的因素是气体的类型和涡轮分子泵的设计. 压缩比越高， 在分子泵进气口得到的*终压力就越低， 也就是分子泵的极限压力越低.

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