




消费者在选购氦质谱检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求,并且在挑选氦质谱检漏仪时注意这种设备的价格和操作模式,检漏仪喷氦法一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷氦。氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法,家用空调氦质检漏,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
外漏主要是渗漏,主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中,系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性,还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。为了避免外漏的发生,需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。
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