




氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外技术,具有灵敏度高,反应快,开机时间短等特点,是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。检漏仪高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,空调氦检漏,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
检漏步骤为:极限压力、升压率都不合格这种情况通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的较大漏点,检漏步骤为: .1.用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍,会很快发现漏点,这时发现的漏点都较大,然后应立即焊接处理或用封泥封堵,- 旦封堵成功,真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。2.第二遍检漏,进行第二遍检漏时速度要较遍慢些, ***检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。
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