广西氦气质谱检漏仪公司-华诚浩达真空设备

氦质谱检漏方法

氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。

于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，正压氦气质谱检漏仪公司，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。

吸与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，正压氦气质谱检漏仪公司，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吸吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。

管板等焊缝较多或检测面积较大时，可将该部分用塑料薄膜完全罩住并用胶带封住，以使 泄漏的氦气进入罩中如图2所示。在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的氦气前、后各记录的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。如发现泄漏，则应按前述的方法逐条焊缝进行排查直至找到泄漏点。

氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理，采用了分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换，具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，正压氦气质谱检漏仪公司，直接输出生成Excel表格。

氦质谱检漏仪的结构

质谱室，形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，广西氦气质谱检漏仪公司，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成，有时还需要配置辅助的真空系统。