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Leybold Turbovac TW 701复合分子泵，爱德华复合分子泵故障，对应的分子泵控制器为：
Leybold Turbo Drive 700 with Prrofibus
Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵，其rotor设计充分考虑到加工的应力，转动的叶片和定子之间只有
0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时，叶片端部的速度接近超音速。
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MAG410CT对应的控制器为：Leybold NT341MA
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