左侧选择框内为功能区
模式选择:
通过切换,气体 配气 系统报价,选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。
浓度模式:用户根据自身配气需求,直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度,并点击开始自动配出所需浓度气体。
流量模式:
用户通过每台MFC的手动流量设定,自行控制内部截止阀开关,进行自由设定,系统自动换算出当前输出气体浓度。、
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配气仪原理
配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器,气体 配气 系统,控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。
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技术优势
自动调节浓度
自动计算气体流量
压差和温差不影响质量流量测量
内部存储校准数据
经过多项校准,精度实际可达百分零点几
同时混合8种气体
测量和规定范围可根据客户要求定制
通过接口与外部PC连接控制
自动程序控制
通过校准检查质量流量控制器
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