




电子超纯水设备让电子行业遇“芯荒” 心不慌芯片的制造过程很复杂,从设计、生产再到封装和测试,每一步都非常重要。在制造环节中要解决的问题有耗材、晶圆、光刻胶、超纯水、各种离子等。芯片制造的关键设备之一是电子电子超纯水设备,天津半导体纯水设备,可用于生产芯片清洗的超纯水,而超纯水的质量直接影响到芯片的质量。电子超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法,将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度。超纯水系统设备的脱盐部件为反渗透膜组件、EDI系统和抛光混床,超纯水系统设备通常由预处理部分,反渗透主机部分,半导体纯水设备厂家,后处理部分共同组成。 电子超纯水设备具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优势
超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中,超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的质量直接关系到半导体的成品率,半导体纯水设备报价,随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高,对超纯水质量的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率和TOC与气泡中的某一指标稍有差异,就会使半导体元件生产的合格率下降。
原因一:颗粒或是胶体堵塞
进水颗粒度>5um时会造成进水流道堵塞,引起模块内部水分分部不均匀,从而导致模块整体性能降低。
建议:在进入EDI模块前段增设保安过滤器(<0.2um)。
原因二:有机物堵塞
当进水有机物污染TOC或TEA含量超过设计标准时,淡水室的离子交换树脂和离子膜会发生有机物的堵塞。
建议:采用高PH值的对淡水室及浓水室循环清洗。

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