复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，净化室安装，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
静电电引起的静电，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受而摔倒，净化室定制，由摔倒又致伤)；2．静电放电引起的放电电流，无尘净化室，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，净化室，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；
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