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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。
为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。
应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，ULVAC干式真空泵维修厂家联系电话，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显著的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。
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市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwa***&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等，按收入计，2021年大厂商占有大约%的市场份额。从产品泵速方面来看，低于1500升/秒占有重要地位，按收入计，2021年市场份额为%，预计2028年份额将达到%。同时就应用来看，半导体行业在2028年份额大约是%，未来几年CAGR大约为%。
根据不同产品泵速，磁悬浮分子泵细分为:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根据不同应用，本文***关注以下领域：
半导体行业
光伏行业
镀膜行业
其他
涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：
（1）抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S（4-67）。其中：g是由几何形状决定的常数；u是活动刀片的转速。随着速度的增加，泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据（4-66），随着S1的增加，S将偏离直线。
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在纯粹涡轮分子泵的情况下，由于其分子流，需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话，直接启动分子泵， 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致，重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要，干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;
5.隔膜寿命长，高弹性的纤维增强型FKM隔膜（化学隔膜泵，耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜）;
6.内部气路连接件漏率低，长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.100%无油；
2.无易损件；
3.无磨损；
4.抽速大可达10 m3/h，极限真空低至0.005 mbar；
5.一键启动，长期7×24 h稳定运行，维护成本低，无烦恼。
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